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華裔科學家的突破:不要EUV光刻機,讓1nm以下的芯片自己長出來
來源:維科網    時間:2023-05-29 09:54:28

目前芯片制造領域的技術,主要就是光刻技術。

而光刻技術下,光刻機的分辨率就決定了芯片的工藝,比如7nm以下的芯片,必須用到EUV光刻機;而7-45nm的芯片,使用浸潤式光刻機;這些都是與精度一一對應的。

后來佳能想搞NIL納米壓印技術,像我們日常見到的打印機打印圖紙的技術一樣,把芯片的電路圖,直接打印到硅晶圓片上去。這種技術,不需要光刻機,也能實現7nm以下,但進度不太理想,目前還停留在65nm以上工藝。


(資料圖)

但是,不用光刻機,生產芯片的夢想,科學家們一直有,甚至也一直在努力,想讓它變成現實。而在中國,網友們做夢都希望有一天,能夠不使用EUV光刻機,就能夠生產7nm以下的芯片,這樣我們就不怕被美國和ASML卡脖子了。

但要實現這個夢實在是太難了,之前歐洲提出了一種技術,叫DSA自生長技術,就是用一種新型材料,直接在硅晶圓上按照電路圖,把不要的部分腐蝕掉……

但直到目前,依然還只是概念、理論性的階段,沒有什么實質性的進展。

而近日,有一位華裔科學家,在這種芯片自生長技術上,又有了新的突破。

麻省理工學院(MIT)的華裔科學家朱家迪領軍的原子級晶體管研究于 4 月取得突破。

這個項目采用氣象沉淀逐層堆疊工藝生產,不再需要使用光刻機,即可生產出一納米甚至以下制程的芯片。

這種技術,一方面是提出一種新的二維半導體晶體管技術,這種二維半導體晶體管尺寸縮小到只有目前的千分之一大小,且功耗也只有目前的千分之一。

另外一方面,是有一種新的材料,叫做金屬二硫化物 (TMD) 材料層,這種材料可以直接“生長”到硅晶圓上,讓二維半導體晶體管不需要光刻,就直接長出來了。

所以它的基礎,還是之前歐洲提出來的那種DSA自生長技術,只是晶體管技術、材料技術變了,離量產實現,又近了一步。

當然,話又說回來,這種高科技技術,從理論提出,到原型確定,再到最終量產,可能需要很久,也許幾年,也許十幾年,也許幾十年,所以想要短時間內就實現不太現實。

所以,讓子彈先飛一會,大家先別高興的太早,更不要自嗨,先當一個新聞看看熱鬧就好。不過,假如這種技術能夠真正的量產,那么全球芯片產業的格局都會被改變,對中國芯片產業絕對是大利好。

原文標題:華裔科學家的突破:不要EUV光刻機,讓1nm以下的芯片自己長出來

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