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重磅!ASML的EUV光刻機中,全球唯一激光器供應商,落戶深圳
來源:維科網    時間:2023-05-26 16:08:50

眾所周知,目前全球僅有一家廠商,能夠生產EUV光刻機,它就是荷蘭的ASML。

而之所以全球僅此一家,這是因為ASML將很多關鍵的廠商捆綁在了一起,比如德國光學公司蔡司(Zeiss),再比如美國的Cymer,再比如德國的通快集團(TRUMPF)等。


(資料圖)

ASML通過投資、收購、占股,建立研究中心等等方式,將這些廠商綁在了自己的戰車上,而這些廠商,可能是全球唯一能夠生產這些產品的廠商,所以最終全球僅ASML一家能夠生產EUV光刻機。

不過,近日,ASML的一家關鍵供應鏈,跑到中國深圳來建廠了,其深圳子公司落戶寶安中德(歐)產業示范園。

這家廠商就是德國的通快集團(TRUMPF),它是ASML的EUV光刻機中,全球唯一一家激光源供應商。

TRUMPF的產品在EUV光刻機中,有多重要?先聽我說一下EUV光刻機的原理,大家就懂了。

EUV光刻機的原理,說起來很簡單,核心是三大系統,EUV紫外線光源系統、物鏡系統、工作臺系統。

具體的過程是利用激光器激發出13.5nm波長的極紫外線,然后經過矯正后形成一束可控的光,再將這一束光投射到光掩膜臺后,再經過物鏡投射到曝光臺,最后在涂了光刻膠的硅晶圓上蝕刻出電路。

其中EUV紫外線光源系統是如何得到的,是用30千瓦功率的二氧化碳激光器轟擊錫(Sn)金屬液滴,將其蒸發成等離子體,最后獲得13.5nm波長的EUV光線。

其中這個30千瓦的二氧化碳激光器就是TRUMPF提供的,全球僅此一家。

別小看了這個二氧化碳激光器,它有457,329個部件,系統內的線纜長度高達7,322米,重量更是達到了17,090千克,是EUV光刻機中,最重要的核心元件之一。

如今TRUMPF跑到中國來建廠,意圖很明顯,那就是看好中國的激光市場,甚至更長遠一點來看,看好中國光刻機市場,未來有可能和中國合作造出EUV光刻機。

事實上,目前已經不只一家ASML的供應鏈跑到中國來建廠了,之前還有KMWE等廠商,也到中國來建廠了。

按照現在這種趨勢,我們可以樂觀的預計一下,說不定要不了多久,中國的光刻機技術會大進一步,甚至量產出EUV光刻機,也是可以期待一下的,你覺得呢?

原文標題:重磅!ASML的EUV光刻機中,全球唯一激光器供應商,落戶深圳

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